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奈米碳管毒性氣體偵測器研發-NO2.NH3 IOSH93-S312

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    內容簡介 利用微奈米機電與 E-beam lithography 製程，設計製作出感測元件電極。然後利用化學氣相沉積法(CVD)成長(growth)出奈米碳管，完成奈米碳管場效電晶體式毒性氣體感測器。
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